全国VC投向辽宁。
在海光信息发起对中科曙光的收购之后，一笔31亿的“A吃A”并购，又在市场中激起波澜——6月24日，北方华创宣布已经成为芯源微第一大股东，并取得芯源微的控制权。早在今年3月，北方华创就与芯源微的两大股东——沈阳先进制造技术产业有限公司、沈阳中科天盛自动化技术有限公司，签署了股份转让协议，受让二者持有的1906.4915万股、1689.975万股股份。两次交易金额分别为16.87亿元和14.48亿元，北方华创合计耗资31.35亿元拿下了17.87%的股权（3596.47万股股份），正式入主芯源微。这笔交易能够引起市场关注，与双方的市场地位不无关系。北方华创不必多说了，它是我国半导体设备龙头，市值达2300多亿。2024年公司创下了业绩新高：营收近300亿元，同比增长35.14%，净利润56.21亿元，同比增长44.17%。一举夺得全球半导体设备厂商第六的名次，也是唯一进入前十的中国厂商。相比而言，芯源微就要低调得多。虽然只有200亿市值，但它却是国内唯一可提供量产型中高端涂胶显影设备的企业，也是单片式湿法设备龙头公司。这两家公司联姻，可以在产品、研发和供应链等多个领域发挥乘数效应。不仅提升企业竞争力，也提升我国半导体设备的整体实力。于企业、于股东、于产业都是一件共赢的事。不过在交易之外，被称为“辽宁省科创板第一股”的芯源微还有两处细节引起了我们关注：第一，芯源微大股东“中科天盛”，是中科院沈阳自动化研究所100%控股的公司。沈自所不仅创立了芯源微，更是辽宁省多家上市公司和科技企业的发起人，堪称辽宁科创的摇篮之一。第二，辽宁省的国资机构对芯源微一直鼎力支持，而且有机构在这一项目上赚到约40倍收益，是东北地区科创孵化的经典案例之一。——这两条线索，为我们打开了了解辽宁科创生态的窗口。数据显示，2020年-2025年上半年，辽宁一共发生了418笔投资事件，融资总额约1900亿元。而且在2020年之后，辽宁省企业获投事件数量逐渐增加。国家大基金二期、北京集成电路并购基金、深创投、华映资本等都纷纷奔赴辽宁下注投资。而这“投资越过山海关”的新局面，正是辽宁省的科研中心、先进制造产业集群和不断壮大的国资基金体系共同推动的。芯源微的故事：科研机构联手国资故事还是从芯源微讲起。2000年初，我国半导体装备产业还是一片空白。服务于国家重大战略的中科院沈阳自动化研究所（简称“沈自所”）决定进入这一领域，突破卡脖子问题。当时沈自所受限于匮乏的技术积累，采取了引进韩国技术，快速切入半导体装备领域的做法。于是在2002年，联合韩国STL公司，以中方持股71.43%，韩方持股28.57%的模式，共同设立了芯源微。执掌芯源微23年的董事长宗润福就是沈自所的科研人员。1988年，宗润福在哈工大硕士毕业后到沈自所就职，历任研究员、室主任、科技处长。2002年12月他作为自动化所的投资方代表，担任芯源微董事长、总经理。在早期，芯源微的发展是建立在沈自所的鼎力支持上的。一方面是沈自所持续不断地提供科研支持。芯源微才在其帮助下，于2005年突破8英寸凸点封装设备技术，2007年推出国内首台12英寸先进封装涂胶显影机，打破日本东京电子（TEL）垄断，逐步在LED和封装领域打开市场。另一方面，沈自所利用中科院的资源推动芯源微承担了多项国家重大科技专项。比如，2008 年芯源微获批承担国家“十一五”《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》专项中的“凸点封装涂胶显影、单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”项目。这是该重大专项支持的唯一家国产涂胶显影设备企业，为芯源微成为全国中高端涂胶显影设备龙头奠定了基础。放在当时，承接科研项目更现实的意义在于，芯源微由此获得了大量的研发经费和补助。这让芯源微顺利度过了入不敷出的创业阶段。宗润福在一次演讲中就回忆说，“2003年到2009年企业年均获得政府各类科技项目经费、人才项目补助约400万元，2010年到2012年，由于承担国家科技重大专项，年均获政府项目拨款约3000万元。”这些支持“缓解企业资金压力，解决了企业研发经费不足、自我供血能力不足的问题。”可见没有沈自所的强力支持，从0到1的芯源微要在残酷的市场中存活下来会异常艰难。而且沈自所将自身定位为企业的“推动者”，而非“主导者”。在2013年芯源微扭亏为盈后，沈自所逐步降低持股比例，退居幕后，让芯源微以更市场化的方式发展。2018 年，芯源微出厂验证第一台前道涂胶显影机，成功切入前道市场，正式成为半导体领域的核心装备供应商。2019年又成为辽宁省第一家科创板上市公司。这次北方华创的完成收购，入主芯源微，意味着这家23年的辽宁企业进入一个新阶段。而当初沈自所为了解决半导体重要设备卡脖子的问题，推动科技成果转化的目的也早已经完成。在沈自所的加持下，芯源微先后吸引了不少国有投资机构注资。公开资料显示，2007年，辽宁科发实业参与了芯源微的A轮融资，是除沈自所外最早的投资人之一。这家公司实控人为辽宁省国资委，是辽宁国资体系下的投资平台。在2007年出资后，科发实业一路陪伴，到目前依然持有10.59%的股份，是仅次于北方华创的第二大股东。除了科发实业外，辽宁最早的风险投资机构——沈阳科技风投也是芯源微的重要投资人。据和君集团对芯源微的研究报告披露，2015年，国科投资、国科瑞祺、沈阳科投、国科正道四家机构向芯源微投资4296万元，其中，沈阳科技风投出资了500万元。目前工商信息显示，沈阳科技风投已经实现退出。官方并未披露这笔投资到底赚了多少钱。但根据和君咨询估算，投资时企业估值约1.93亿元，到2021年末“沈阳科投持有的这部分股份市值约2.5亿元，六年时间增值达50倍。”盛京金控的公众号文章部分印证了上述推断，它写道“（科技风投）投资的芯源微、拓荆科技实现国有资本增值30-40倍。”不论是30倍，还是40倍，亦或50倍，这笔投资的收益肯定非常可观。它应该是东北地区国资机构投资退出的重要案例了。向先进制造业跃迁的产业生态芯源微的故事只是辽宁创投生态的一节片段。在片段之外，还有更难广阔的全景图。先回到沈自所。1972年，时任沈自所所长的蒋新松院士，起草了一份“关于人工智能及机器人”的报告呈给中国科学院。后来这份报告推动机器人研究被列入《1978—1985年全国科学技术发展规划纲要》。在他的带领下，沈自所研发了示教再现工业机器人，标志着国工业机器人事业的开端。1987年，中国科学院、国家科委在沈自所设立“863”计划智能机器人办公室。之后，沈自所便成为了我国工业机器人的摇篮。这段科研故事在上世纪90年代末期开始向产业端演化。2000年，沈自所以蒋新松院士的名字命名，成立了新松机器人，是我国最早从事工业机器人研发的企业。它率先推出全国首台真空洁净机器人、首套汽车合装移动机器人等产品，快速打破了国外企业的垄断。2009年，新松机器人在创业板顺利上市，创造了“辽宁创业板第一股”的传奇。目前这家公司的产品已销往40多个国家和地区，其工业机器人不仅服务于通用、福特等国际巨头，在新加坡港口等全球枢纽中也运行着大量新松移动机器人。除了芯源微和新松机器人，沈自所先后参与设立10余家科技公司。2000年，推动成立了制氧机等医疗器械研发公司新松医疗；2003年，创立工业物联网公司中科博微；2013年创立了物联网设备公司中科奥维；2017年成立沈阳智能机器人研究院；2018年创立商业航天公司中科新宇空间智能装备公司……说它是辽宁科技创新的摇篮，实至名归。而且这些企业不断壮大，还吸引了一大批产业链的公司向辽宁聚集。比如芯源微上市之后，神工股份、拓荆科技、富创精密、连城数控这4家半导体设备公司陆续上市，让辽宁的半导体设备产业初具规模。新松机器人则吸引了现代辅机、四达高技术、光洋科技、沈阳通用机器人等一批配套企业落地，让辽宁成为机器人产业高地。最近两年，半导体装备和机器人产业已经是辽宁产业转型升级、新旧动能转换的标杆产业了。沈阳机器人与装备制造集群，也成为了辽宁省第一个国家级产业集群。值得一提的是，在辽宁有众多像沈自所这样的科研中心。中国科学院沈阳分院在辽宁就有大连化学物理研究所、金属研究所、沈阳应用生态研究所、沈阳自动化研究所等4个研究所，以及沈阳计算技术研究所有限公司、中科仪等2个整体转制公司。军工航天领域，在沈阳还有601所、606所、通航研究院等骨干研发机构。而且辽宁省还在持续扩大科研机构的建设，2024年辽宁围绕重点产业新建了20个重点实验室群，聚焦未来产业组建9家省基础科学中心，实施研究项目880个。另外，辽宁省拥有雄厚的制造业基础。特别是装备制造、航天军工、石油化工等领域在全国执牛耳。去年辽宁新增加三个国家级先进制造业产业集群，分别是“沈阳航空集群”，以沈阳和大连两座城市为核心的“沈大工业母机集群”，以大连和盘锦为核心的“大盘绿色石化集群”。它们标志着“共和国长子 正从传统制造业向先进制造业跃迁。这一过程必然带来大量创新创业的机会。2025年辽宁省政府工作报告中就披露了一组数据:2024年辽宁新增科技型中小企业6206家、高新技术企业1625家、“雏鹰”“瞪羚 企业940家，融科储能、东软睿驰两家企业新晋为独角兽企业。所以，以科研中心为代表的创新策源地，和以产业集群为代表的土壤生态，共同为辽宁科创企业提供了生长环境。超400笔投资，全国VC投向辽宁这些企业的诞生与崛起，自然也少不了资本助力。正如沈阳科技风投支持芯源微一样，辽宁的国资机构，对当地创投生态提供了重要的“燃料”。先看市一级的机构。沈阳、大连是辽宁创投最活跃的两座城市。就以沈阳为例，2017年，沈阳设立了沈阳盛京金控投资集团，股权投资就是主要的业务板块之一。据官方网站披露的数据，盛京金控已经构建了“市投资基金、天使基金、市场化基金”三支百亿规模的母基金。通过这三支百亿母基金和自有资金，累计投资了230余个项目，投资总额220余亿。沈阳科技风投就是盛京金控旗下单位。它管理着天使投资母基金，是当地早期投资的重要推手。在今年上半年，华德海泰电器、恒久安泰、康奉堡等多家企业都获得沈阳科技风投的支持。100亿元的沈阳市投资基金，则由盛京资本负责运营管理。官方信息显示，截至目前，市投资基金已累计开展基金项目20余个，项目总规模120余亿元。100亿元的市场化母基金（盛京投资基金）由恒信安泰负责运营管理，目前已受托和发起的母子基金总规模超百亿，母子基金投资规模数十亿，母子基金投资和招引项目超100个。再看省一级。2021年12月，辽宁金控集团设立了辽宁基金投资公司。随后经过1年的筹备，在2022年11月官宣发布了规模200亿元的辽宁产业投资基金。该基金被视为助力辽宁振兴发展的资本引擎。不完全统计，辽宁基金已经出资了26支子基金。引起市场轰动的是去年9月份，官宣与招商局集团、中国诚通、中国国新、光大控股四家央企，合作设立的4支产业投资基金，总规模达100亿元。当时辽宁基金对外披露说，这四只产业基金的投资方向，涵盖全省4个万亿级产业基地和22个重点产业集群。标志着辽宁央地合作母、子基金产业化协同投资集群初步形成。上述省市级国资基金体系，大大推动了辽宁科创投资。据CVSource投中数据显示，2020年-2025年上半年，辽宁一共发生了418笔投资事件，融资总额近1900亿元。而且在2020年之后，辽宁省企业获投事件数量逐渐增加。2020年辽宁有71笔股权投资，2022年有75笔，2023年有82笔，2024年有86笔。这种上升趋势在2025年还在延续。而且外地资本投向辽宁省项目的案例也在增多。有两个案例让我印象深刻。一个是新松机器人旗下的新松半导体。这家公司成立于2023年，专注于半导体晶圆传输专用设备的研发。去年公司完成第一轮融资，吸引了北京集成电路并购基金、国家大基金二期、上海金浦投资、中微半导体、沈阳市科技成果转化基金等机构的投资。是辽宁半导体设备领域的一颗新星。另一家是国瑞新材。这家公司不在沈阳也不在大连，而是位于抚顺市新宾满族自治县。你很难想象一群知名投资机构，到东北如此偏远的县城去投资。但是这一幕确实发生了——深创投、华映资本、国泰君安创新投、众行资本、梧桐树资本等机构，在今年5月份披露了对这家公司的投资。后来我查阅了这家公司的产品和业务情况，就不再感到意外了：它生产的等静压石墨，已经累计向上百家光伏客户完成产品销售，产品直接或间接被隆基、中环、晶澳、协鑫等国内光伏龙头企业使用。而且还实现了“卡脖子”材料核纯级石墨技术突破，推动了核电领域高温气冷堆产业链的自主可控。目前公司已经通过中核集团产品验证，成为其核心供应商。不论是新松半导体还是国瑞新材，都代表了辽宁科创的新势力。“投资不过山海关”的偏见，可能即将被辽宁蓬勃的创投生态打破。参考资料：盛京金控，科技风投再结投资硕果 彰显国资担当。沈阳和君，沈阳芯源微（688037）市值管理分析。芯源微官方网站。
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